第三百五十三章 参观（2 / 2）

“周总。”鹤田和周硕握过了手，四下打量一下问道：“这是哪里？我以为我们是要在办公室见面。”

周硕呵呵笑了一下，指着自己身后说道：“这是我们泛翰集团进行光刻机研究的实验室，之前鹤田先生想要参观沉浸式光刻技术，我看择日不如撞日，就今天好了。”

“你要带我们参观泛翰集团的沉浸式光刻技术？”鹤田瞪大了眼睛，不可置信的问道。

“没错，我邀请鹤田先生和白石经理，一起参观我们泛翰研究院的实验室。”周硕笑眯眯的肯定回答道。

鹤田和白石茉莉奈对视一眼，纷纷看到了对方眼里的诧异。在这个特殊的时间点，眼看着双方合作可能流产的时候，周硕竟然安排他们参观泛翰集团最大的底牌！这是为什么？

带着这样的疑惑，鹤田和白石茉莉奈双双跟着周硕走进了地下实验室的大门。

经过穿戴防尘服和除尘通道之后，三个人进入了实验室内部。鹤田望着这庞大的地下空间，不由得有些眼晕。事实上这种密闭的地下空间，也确实比较容易引起一些人的心理反应。

周硕瓮声瓮气的声音，从防尘面罩后面陆陆续续的传了出来：“这是泛翰研究所的蜂巢实验室，负责光刻机沉浸式技术的研发。沉浸式的研发要点总共有三个部分，分别是光源、镜头和防水光刻胶的研制。”

他边走边侃侃而谈道：“我们的光源使用的是365nm的i线弧光灯光源，这样在经过纯水的折射之后，它的波长就变成了260nm。而纯水，必须是9个9纯度的去离子水。至于说沉浸式光刻最大的技术障碍，那肯定就是防水光刻胶了。普通光刻胶是无法在水中保持不扩散的，所以必须使用特制的……”

周硕倒是不怎么在乎保密的问题，如果来两个人看两眼、听两句科普就能把技术抄了去，那这种技术也没有什么保密的必要了。沉浸式光刻技术在历史上可是持续研究了十多年，才逐渐投入使用的技术。真要是形成论文，绝不会少于一个尼康运资料的木箱。在后世是几种影响线宽因素中，非常重要的一个方面。

他们向实验室内部走去，很快就到了一台机器前面。很明显，白石茉莉奈一眼就看出来，这是一台尼康生产的0.5微米光刻机。此时它能够出现在这里，不言自明是作为改装实验设备。

果然，周硕指着这台两人高的机器说道：“二位，这就是我们泛翰研究院改装之后，性能已经达到0.35微米的尼康光刻机了。”

“经过改装后，它的加工能力达到了0.352微米水平。遗憾的是虽然加工能力提升，但它的良品率也下降了百分之十。”

白石茉莉奈抓住机会，突然打断了周硕的话说道：“周桑，我能离近了观察一下吗？”

周硕挑了挑眉毛，想都没想的点头道：“当然可以，实际上我正想演示一下它的运转过程。如果方便的话，白石经理请你帮忙操作一下旁边的光源系统。”

与此同时他自己也站在光刻机另一边的机柜旁，开始在键盘上操作起控制电脑来。白石茉莉奈对尼康自产的光刻机当然无比熟悉，在周硕的指挥下也很快对光源系统进行了设置。

随着设置的结束，一旁储存晶圆的柜子里，在细微的电机声中突然转动了起来。一片晶圆在机械手的操作下被送上了光刻台，已经涂好光刻胶的晶圆在对准系统的操作下，进入了准备接受激光照射的位置……

白石茉莉奈目不转睛的透过玻璃窗，看着正在运转中的光刻机镜头。

在光刻机最后一组镜头的下面，有别于尼康的设备，泛翰研究所的光刻机额外多出了一个玻璃罩。玻璃罩的左右有两个小水管。白石茉莉奈知道，那是注入纯水的通道。玻璃罩的下面到和晶圆上的光刻胶为止，现在应该已经注满了高纯度的去离子水。

真正的高纯度去离子纯水有些微微偏蓝，而不是我们惯常见到的透明色。白石茉莉奈只能通过机械操作的对准系统运转，来判断光刻机是否在工作。因为她是看不到激光颜色的，这是由于光刻的激光高度集中根本不会散射出来，人眼自然也就无看到激光的存在。

周硕站在一旁，双手抱胸看向两个人，不咸不淡的笑道：“怎么样，我们泛翰集团对尼康光刻机的改造，白石经理还看得过眼么？”

说完，他也不理白石茉莉奈的反应，转过身来向鹤田问道：“我不说的话，想必鹤田先生肯定是在怀疑，我们泛翰集团又在耍花招骗取尼康的技术吧？”(未完待续。。)